Как да документираме персонализирани изисквания за силиконова пластина за тестване на процеса

 

Запитването за персонализирана силиконова пластина е по-лесно за преглед, когато изискванията са записани преди офертата. Ако диаметърът е ясен, но дебелината, повърхността или електрическите изисквания липсват, инженерингът и снабдяването може да сравняват различни конфигурации, без да го осъзнават.

 

Полезната спецификация не трябва да бъде сложна. Той трябва да каже на доставчика за какво ще се използва вафлата, кои свойства имат значение и как ще бъде приета доставената партида.

 

Защо ясната спецификация на вафлата е важна

 

Когато изискванията останат неофициални, могат да се появят малки разлики между заявената вафла и посочения продукт. Един отбор може да очаква полирана предна част; друг може да приеме различна дебелина или диапазон на съпротивление.

 

Тези пропуски могат да доведат до допълнителен технически преглед, проблеми с входящи инспекции или повторни тестови изпълнения. За тестване на процеса, недефинирана спецификация на вафла също прави по-трудно да се каже дали резултатът идва от процеса или от промяна в изходния материал.

Изискванията за документиране дават на доставките, инженеринга и доставчика една споделена справка.

 

Започнете с целта на теста

 

Започнете с описание на процеса или теста на оборудването. Посочете какво трябва да демонстрира вафлата и дали ще се използва за обработка на проверки, оценка на процеса или друга цел.

 

Този контекст помага на доставчика да разбере кои изисквания са съществени. Освен това помага на вашия екип да избегне добавянето на спецификации, които не влияят на теста.

 

Ако пластината ще влезе в конкретен инструмент или приспособление, включете всички изисквания за интерфейс и приложете съответния чертеж.

 

Запишете изискванията за вафлата

 

1. Диаметър и дебелина

 

Посочете диаметъра в милиметри, номиналната дебелина и приемливия толеранс на дебелината. Включете всеки ръб, прорез или функция за ориентация, необходима за оборудването.

Ако границите на лъка или основата имат значение за процеса, посочете ги отделно. Номиналната дебелина сама по себе си не определя всяко геометрично изискване.

 

2. Повърхнина и геометрия

 

Определете дали едната или двете страни трябва да бъдат полирани. Посочете всяка изисквана грапавост на повърхността и промяна на общата дебелина (TTV) отделно.

Заявлените възможности за обработка на пластини от Zhonggui Semiconductor включватRa < 1 nmиTTV < 5 µm. Потвърдете приложимите стойности за искания размер, дебелина и покритие по време на офертата.

Когато условията на проверка са от значение, посочете метода на измерване, повърхността, местата за вземане на проби и обхвата на приемане.

 

3. Електрически и материални свойства

 

Ако тестът зависи от електрическото поведение, запишете типа на проводимостта, обхвата на съпротивлението, ориентацията на кристала и изискванията за добавка, където е приложимо.

 

Zhonggui предлага силициеви пластини с високо съпротивлениесъпротивление над 5000 Ω·cm. Потвърдете заявения диапазон на стойността и конфигурацията на продукта, вместо да разчитате на общо описание на продукта.

Ако някое свойство не е подходящо за теста, маркирайте го като „не се изисква“, вместо да оставяте полето двусмислено.

 

4. Количество, опаковка и доставка

 

Посочете количеството, дали вафлите са за еднократна оценка или за периодични тестове, предпочитаната опаковка и необходимата дата за доставка.

Ако очаквате повторни поръчки, включете прогноза или очаквана честота на поръчките. Позовавайте се на същата ревизия на спецификацията при бъдещи запитвания, така че тестовият материал да остане сравним.

 

Контролен списък за запитване по поръчка на силиконова пластина

 

 

Елемент	Какво да документирам
Цел на теста	Оценка на процеса, оборудването или обработката
Тип вафла	Субстрат, фиктивна пластина, тестова пластина или пластина с високо съпротивление
Диаметър	Необходим размер в милиметри
Дебелина	Номинална стойност и толеранс
Повърхностно покритие	Полирана страна или страни и всякакви изисквания за грапавост
TTV	Граници, условия на измерване и обхват на проверка
Електрически свойства	Тип проводимост, съпротивление, ориентация и добавка, където е приложимо
Геометрия	Изисквания за ръб, прорез, извивка или изкривяване, ако е приложимо
Количество	Първоначален размер на партидата и очаквано повторно търсене
Опаковка	Изисквания за превозвач и обработка
инспекция	Необходими записи, методи и идентификация на партидата
Доставка	Дестинация и необходима дата

Потвърдете комбинираната спецификация и критерии за приемане в офертата и поръчката за покупка.

 

Отделете възможностите от ангажимента за поръчка

 

Общите възможности на доставчика не се прилагат автоматично за всяка комбинация от размер на пластина, дебелина, покритие и електрически свойства.

Например Ra < 1 nm и TTV < 5 µm трябва да бъдат потвърдени за точната заявена конфигурация. Офертата трябва да посочва приложимата спецификация и условията за проверка.

 

Това улеснява сравняването на доставчици на една и съща основа и намалява несигурността при входяща проверка.

 

Поддържайте спецификацията актуална

 

След като инженерът одобри изискванията за вафли, запазете документа с номер на редакция и дата. Обърнете се към тази версия, когато правите поръчка или заявявате повторна партида.

 

Ако целта на теста или процесът се промени, прегледайте изискванията за вафли, преди да поръчате отново. Актуализирането на документа предотвратява пренасянето на стари предположения в нова оценка.

 

Поискайте персонализирана оферта за силиконова вафла

 

Zhonggui Semiconductor доставя силициеви субстрати, фиктивни пластини, тестови пластини и пластини с високо съпротивление в продуктова гама от 1–12 инча, включително размери 200 mm и 300 mm.

 

Изпратете ни вашата тестова цел, чертеж, размери на пластини, повърхностни и електрически изисквания, количество и дата на доставка. Нашият екип може да прегледа заявената конфигурация и да потвърди приложимите спецификации за оферта.

Поискайте персонализирана оферта за силиконова вафлаили прегледайте нашата продуктова гама от силиконови пластини.

 

Често задавани въпроси

 

Какво трябва да включва запитването за силиконова пластина по поръчка?

 

Включете целта на теста, вида на пластината, диаметъра, дебелината, изискванията за повърхността, електрическите свойства, където е уместно, количеството, опаковката, нуждите от проверка и датата на доставка.

 

Трябва ли TTV и грапавостта на повърхността да се изброяват отделно?

 

да Те описват различни характеристики на пластините и трябва да имат отделни граници и условия на измерване.

 

Мога ли да използвам същата спецификация за повторни поръчки?

 

Използвайте одобрената версия на спецификацията като референция. Ако тестът или изискванията за материал се променят, актуализирайте и прегледайте спецификацията, преди да поръчате.

 

Ами ако някои изисквания все още не са известни?

 

Изпратете наличните подробности и маркирайте отворени елементи за технически преглед. Включете планирания тест, така че неразрешените изисквания да могат да бъдат обсъдени в контекст.