Силиконова кръгла вафла

Силиконова кръгла вафла

Тази серия кръгли силиконови пластини е щателно проектирана, за да осигури безкомпромисностабилна геометриянеобходими за безпроблемноавтоматизирана обработкав усъвършенствани леярски среди. Оптимизиран за спектъра с пълен диаметър от2-инча (50 мм) до 12-инча (300 мм), тези субстрати са проектирани с високо-прецизно профилиране на ръба, за да осигурят последователно механично зацепване по време на-високоскоростни роботизирани трансфери и последователности на вакуумно затягане.

Съвместимост с-прецизно задвижвано оборудване:Всяка пластина се управлява от строги толеранси заточна закръглености последователност на диаметъра, което значително подобрява съвместимостта както със старите 200 mm инструменти, така и с усъвършенстваните 300 mm автоматизирани клъстери. Като се придържа стриктно към международните стандарти SEMI за прорези и плоски размери, субстратът позволява почти мигновено калибриране на инструмента, намалявайки времето за механичен престой.

Рационализиран процес на обработка:Превъзходната стабилност на размерите на пластината поддържа aплавен процес на обработкапрез най-интензивните етапи на производство. Чрез минимизиране на центр-на-масовия ексцентрицитет, субстратът намалява ротационните вибрации по време на центрофугиране с високи-RPM и химическо-механично планаризиране (CMP), осигурявайки еднаква дебелина на филма по цялата повърхност.

Минимизирано прекъсване на подравняването: Съвместими размериса критични за намаляване на пространственотопроблеми с подравняванетопо време на много{0}}слойна фотолитография. Стабилният форм-фактор на вафлата гарантира, че глобалните знаци за подравняване остават в обхвата на улавяне на усъвършенстваните скенери, което пряко корелира с повишаването надобив-ниво на вафла (WLY)за висока-плътностМощност IC и логикаустройства в голям-мащабиндустриални производствени линии.

Популярни тагове: силиконова кръгла пластина, Китай силиконова кръгла пластина производители, доставчици, фабрика