Ултра-плоски силиконови пластини

Ултра-плоски силиконови пластини

Тези ултра-плоски силиконови пластини са прецизно изработенипроектирани да отговарят на строги изисквания за плоскост и еднородност на дебелината, служейки като водеща механична референция за най-взискателните литографски възли. Чрез използването на усъвършенствано двойно-странично полиране (DSP) и високо{2}}прецизна лазерна-интерферометрична метрология, нашите субстрати елиминират геометричните изкривявания, които водят до неуспехи на шаблоните. Тази архитектурна прецизност е основното изискване за поддържане на последователна равнина на изображението, коятоспомага за подобряване на добива и стабилността на процеса в усъвършенствани среди за производство на полупроводници.

Оптимизиран за литографска дълбочина-на-фокус (DOF):С участието на водещи{0}}в индустриятаОбща вариация на дебелината (TTV)и ултра-ниска плоскост на обекта (SFQR), тези пластини осигуряват детерминистична повърхност за системи за експониране с висока-NA (числова апертура). Тази геометрична прецизност гарантира, че цялата повърхност на пластината остава в рамките на бюджета за критичен фокус, минимизирайки замъгляването на модела и значително подобрявайки еднородността на CD (критичното измерение) на структурите на порта в нанометров-мащаб.

Минимизирани грешки при наслагване и изкривяване:Специално проектирани за много-слойно 3D подреждане и усъвършенствано опаковане, нашите ултра-плоски субстрати намаляват механичното напрежение и изкривяванията на „иглена възглавница“ по време на вакуумно затягане. Тази подобрена плоскост позволява превъзходнопрецизност на наслагването, гарантирайки, че вертикалните връзки (TSV) и много{0}}слоевите метали се подравняват с под-нанометрова точност.

Превъзходна механична толерантност за автоматизирано боравене:Придържайки се към най-строгите стандарти SEMI, нашите вафли се отличават с прецизни-шлайфани ръбове и стриктно регулирани толеранси на диаметъра. Тази геометрия с висока-прецизност осигурява съвместимост без триене с високо-скоростно роботизирано боравене и автоматизирани инструменти за-механична планаризация (CMP), като ефективно намалява процентите на счупване и осигурява-възпроизводимост на-партида вМасово-производство (HVM).

Популярни тагове: ултра-плоски силициеви пластини, Китай ултра-плоски силиконови пластини производители, доставчици, фабрика